設備名稱 手動勻膠機  品牌型號 WS400BZ

設備用途
通過高速旋轉(zhuǎn)的電機帶動晶圓轉(zhuǎn)動，結合手動滴膠，將光刻膠均勻的涂覆到晶圓上。

主要技術指標：
可用晶圓尺寸：2inch 3inch 4inch圓和≥1cm2碎片
最大轉(zhuǎn)速：8000rpm

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